判斷題

激光掃描時光束直徑d所產生的半影影響無法消除。

答案：錯誤

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采用激光偏振檢測系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質，即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點、灰塵、油污膜層或其他缺陷。

答案：正確

單項選擇題

關于壓電掃描器缺點敘述錯誤的是（）

A.電壓相對位置、位移無滯后
B.晶體膨脹期間不可預測的力矢量
C.居里溫度引起的溫度限制，低溫下壓電效應的降低
D.柔性鉸鏈的設計對環(huán)境噪聲的放大

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