問答題

【簡答題】例舉并描述薄膜生長的三個階段。

答案： （1）晶核形成
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進(jìn)一步生長的基礎(chǔ)。
（2）凝聚成束
形成...
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【簡答題】什么是薄膜？
答案： 薄膜：指某一維尺寸遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
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【簡答題】立式爐系統(tǒng)的五部分是什么？例舉并簡單描述。
答案： 工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)。
工藝腔是對硅片加熱的場所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...
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