問答題

【簡答題】

假設(shè)某項(xiàng)化學(xué)氣相淀積工藝受反應(yīng)速率控制，在700 ℃和800 ℃時(shí)的淀積速率分別為500Å/min和2000Å/min，請計(jì)算在900℃下的淀積速率是多少？實(shí)際測量發(fā)現(xiàn)900℃下淀積速率遠(yuǎn)低于計(jì)算值，說明什么？怎樣證明？（化學(xué)氣相淀積的反應(yīng)速率常數(shù)）

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【簡答題】

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問答題

【簡答題】

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答案： （a）鋁金屬化工藝下層鋁導(dǎo)線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導(dǎo)線刻蝕
（b...
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