問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列舉干法刻蝕同濕法刻蝕相比具有的優(yōu)點(diǎn)，干法刻蝕的不足之處是什么？

答案： 優(yōu)點(diǎn)：
1.刻蝕剖面是各向異性，具有非常好的側(cè)壁剖面控制
2.好的CD控制。
3.最小的光...
題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】干法刻蝕有高的還是低的選擇比？
答案： 干法刻蝕通常不能提供對(duì)下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】描述各同向性和各向異性刻蝕剖面，以及在每一種剖面中哪一種是希望的哪一種是不希望的？
答案： 各向同性的刻蝕剖面在所有方向上以相同的刻蝕速率進(jìn)行刻蝕，這將帶來(lái)不希望的線寬損失。各向異性的刻蝕剖面即刻蝕只在垂直于硅片...
微信掃碼免費(fèi)搜題