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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個(gè)參數(shù)？
答案：
R.K*入/NA
1，波長(zhǎng) 入
2，數(shù)值孔徑NA
3，工藝因子K
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是數(shù)值孔徑（NA），陳述它的公式，包括近似公式？
答案：
透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數(shù)值孔徑，NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長(zhǎng)。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋透鏡壓縮是怎么發(fā)生的，它產(chǎn)生了什么問(wèn)題？
答案：
透鏡壓縮是透鏡材料結(jié)構(gòu)上的重新排列導(dǎo)致透鏡材料增密，壓縮發(fā)生在透鏡材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿過(guò)區(qū)域的透鏡材料...
