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問答題

【簡答題】什么是數(shù)值孔徑（NA），陳述它的公式，包括近似公式？

答案：透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數(shù)值孔徑，NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長。

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【簡答題】解釋透鏡壓縮是怎么發(fā)生的，它產(chǎn)生了什么問題？

答案：透鏡壓縮是透鏡材料結構上的重新排列導致透鏡材料增密，壓縮發(fā)生在透鏡材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿過區(qū)域的透鏡材料...

【簡答題】DUV波長曝光時使用哪種透鏡材料？

答案：一種合適的透鏡材料是熔融石英，他是深紫外波長范圍內(nèi)的較少的光吸收，氟化鈣正在作為一種可能的候選透鏡材料。

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