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問答題
【簡答題】光刻膠厚度隨什么變化？
答案：
粘度越高轉(zhuǎn)速越低，光刻膠就越厚
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問答題
【簡答題】負(fù)膠的兩大缺點(diǎn)是什么。
答案：
在顯影時(shí)曝光區(qū)域由溶劑引起的泡脹；曝光時(shí)光刻膠可與氮?dú)夥磻?yīng)從而抑制其交聯(lián) 。
