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問答題

【簡答題】負膠的兩大缺點是什么。

答案：在顯影時曝光區(qū)域由溶劑引起的泡脹；曝光時光刻膠可與氮氣反應從而抑制其交聯(lián) 。

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【簡答題】列出并描述I線光刻膠的4種成分。

答案： 1.樹脂。光刻膠樹脂是一種惰性的聚合物基質，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑
2.感光劑。是光刻膠材料...

【簡答題】什么是負膠分辨率的限制，哪種膠應用在亞微米光刻膠中？

答案：

由于顯影時的變形和膨脹，負性光刻膠通常只有2μm的分辨率。
正性光刻膠。