問答題

【簡答題】RTP是熱壁系統(tǒng)還是冷壁系統(tǒng)？

答案：

是冷壁系統(tǒng)
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答案： 工藝腔，硅片傳輸系統(tǒng)，氣體分配系統(tǒng)，尾氣系統(tǒng)，溫腔系統(tǒng)
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