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【簡答題】如果熱生長氧化層厚度為2000A,那么Si消耗多少?
答案:
920A(每生長1000A的氧化物,就有460A的硅被消耗)
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【簡答題】列出熱氧化物的硅片制造的六種用途,并給出各種用途的目的。
答案:
金屬層間絕緣阻擋層:用做金屬連線間的保護(hù)層。
注入屏蔽氧化層:用于減小注入夠到和損傷。
勢氧化層:做...
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【簡答題】為什么刪氧要用熱生長?
答案:
因?yàn)闁叛跖c其下的Si具有高質(zhì)量和穩(wěn)定性的特點(diǎn),柵氧一般通過熱生長獲得。
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