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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出熱氧化物的硅片制造的六種用途，并給出各種用途的目的。
答案：
金屬層間絕緣阻擋層：用做金屬連線間的保護(hù)層。
注入屏蔽氧化層：用于減小注入夠到和損傷。
勢(shì)氧化層：做...
注入屏蔽氧化層：用于減小注入夠到和損傷。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】為什么刪氧要用熱生長(zhǎng)？
答案：
因?yàn)闁叛跖c其下的Si具有高質(zhì)量和穩(wěn)定性的特點(diǎn)，柵氧一般通過(guò)熱生長(zhǎng)獲得。
