套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開(kāi)口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。