多項選擇題

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

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