A.體積小B.惰性氣體C.無污染D.容易驅(qū)散
A.可調(diào)整排氣速度B.可調(diào)節(jié)腔體真空度C.無需流量調(diào)節(jié)閥D.降低故障風(fēng)險(xiǎn)
A.構(gòu)造簡(jiǎn)單、故障少B.價(jià)格低廉C.低振動(dòng)低噪音D.可高速運(yùn)轉(zhuǎn)