多項(xiàng)選擇題

金屬W（鎢）的用途有（）。

A.局部互連
B.全局互連
C.鎢插塞
D.柵極

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多項(xiàng)選擇題

下列屬于多晶硅薄膜的特性有（）。

A.擴(kuò)散系數(shù)明顯高于單晶硅
B.晶粒尺寸大的薄膜電阻率小
C.晶向唯一
D.電阻率遠(yuǎn)高于單晶硅

多項(xiàng)選擇題

?LPCVD系統(tǒng)與PECVD系統(tǒng)相比，它們的相同點(diǎn)有（）。

A.產(chǎn)量低
B.可淀積Si₃N₄等
C.臺階覆蓋好
D.反應(yīng)控制

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