單項(xiàng)選擇題實(shí)際VPE工藝溫度多在質(zhì)量傳遞控制區(qū),此時(shí)外延速率()
A.對(duì)溫度不太敏感
B.對(duì)溫度非常敏感
C.源的氣相擴(kuò)散的影響不大
D.源氣體分壓的影響不大
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3.判斷題中子嬗變摻雜不能用于制備p型硅錠。
5.多項(xiàng)選擇題蒸鍍工藝要求蒸鍍室為高真空度的原因()
A.為了避免蒸發(fā)分子(或原子)被氧化
B.為了降低鍍膜中的雜質(zhì)
C.為了減小蒸發(fā)分子(或原子)的平均自由程
D.為了制備的鍍膜表面更平坦
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芯片粘接的工藝過程包括()。
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