問答題

【簡答題】旋涂機(jī)手臂不動作如何處理？

答案：

（1）手臂做home回原點(diǎn)；關(guān)閉控制手臂空開，做home。
（2）關(guān)閉PLC，重新做原點(diǎn)。
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問答題

【簡答題】旋涂機(jī)手臂抓不住盤片如何處理？
答案：

（1）檢查手臂吸嘴是否正常；
（2）手臂位置是否正確；
（3）手臂真空是否正常。
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【簡答題】7.0旋涂碗電機(jī)不轉(zhuǎn)有哪些原因？
答案：

（1）盤片吸真空不好；
（2）電機(jī)不轉(zhuǎn)，沒電或壞；
（3）電機(jī)驅(qū)動器故障。
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