問答題

【簡答題】旋涂機手臂抓不住盤片如何處理？

答案：

（1）檢查手臂吸嘴是否正常；
（2）手臂位置是否正確；
（3）手臂真空是否正常。
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答案：

（1）盤片吸真空不好；
（2）電機不轉(zhuǎn)，沒電或壞；
（3）電機驅(qū)動器故障。
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