問答題

【簡答題】7.0旋涂碗電機不轉(zhuǎn)有哪些原因？

答案：

（1）盤片吸真空不好；
（2）電機不轉(zhuǎn)，沒電或壞；
（3）電機驅(qū)動器故障。
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