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單項(xiàng)選擇題
摻氯氧化使用的HCL是()。
A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源
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二氧化硅中每個(gè)硅原子周圍有()個(gè)氧原子。
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單項(xiàng)選擇題
以下哪項(xiàng)不是STI工藝氣體?()
A.SiH
4
B.O
2
C.N
2
O
D.Ar
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