A.SiH4B.O2C.N2OD.Ar
A.兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)-Brush(刷洗)B.兆聲清洗(Meg)-Brush(刷洗)-SRD(甩干)C.Brush(刷洗)-兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)D.Brush(刷洗)-SRD(甩干)-兆聲清洗(Meg)
A.靜電掃描B.機(jī)械掃描C.靜電掃描與機(jī)械掃描結(jié)合