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問答題
【簡答題】IC對金屬材料特性有何要求？
答案：
1、與n＋、p＋硅或多晶硅形成低阻的歐姆接觸（接觸電阻?。?，利于提高電路速度，
2、抗電遷移性能好，長時間在較...
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問答題
【簡答題】何謂氧化增強擴散，發(fā)散區(qū)推進效應(yīng)？產(chǎn)生機理是什么？
答案：
在熱氧化過程中原存在硅內(nèi)的某些摻雜原子顯現(xiàn)出更高的擴散性，稱為氧化增強擴散。機理：氧化誘生堆垛層錯產(chǎn)生大量自填隙Si，間...
問答題
【簡答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應(yīng)？
答案：
光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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