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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應(yīng)？
答案：
光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】常見(jiàn)的光刻對(duì)準(zhǔn)曝光設(shè)備有？
答案：
接觸式光刻機(jī)；接近式光刻機(jī)；掃描投影光刻機(jī)；分步重復(fù)投影光刻機(jī)；步進(jìn)掃描光刻機(jī)。
