問答題

【簡答題】何謂氧化增強擴散，發(fā)散區(qū)推進效應？產(chǎn)生機理是什么？

答案： 在熱氧化過程中原存在硅內(nèi)的某些摻雜原子顯現(xiàn)出更高的擴散性，稱為氧化增強擴散。機理：氧化誘生堆垛層錯產(chǎn)生大量自填隙Si，間...
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【簡答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應？
答案： 光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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【簡答題】常見的光刻對準曝光設(shè)備有？
答案：

接觸式光刻機；接近式光刻機；掃描投影光刻機；分步重復投影光刻機；步進掃描光刻機。
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