問答題

答案： 1.可在較低的溫度下，將各種雜質(zhì)摻入到不同的半導(dǎo)體中；
2.能夠精確控制晶圓片內(nèi)雜質(zhì)的濃度分布和注入的深度；<...

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擴散源有氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)三種有存在形式。

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