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問答題

【簡答題】熱擴散機制有哪些？

答案：

替位式擴散、填隙式擴散、填隙—替位式擴散

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【簡答題】氧化膜厚度的測定方法？

答案：

雙光干涉法、比色法

【簡答題】熱氧化常見的缺陷有？

答案：

表面缺陷、結(jié)構(gòu)缺陷、氧化層中的電荷

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