問答題

【簡答題】為何熱氧化時(shí)要控制鈉離子含量?降低鈉離子污染的措施有哪些?

答案: 因?yàn)檠趸瘜又腥绾懈邼舛鹊拟c,則線性和拋物型氧化速率常數(shù)明顯變大。措施有:加強(qiáng)工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污;也可采用摻氯...
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答案:

溫度、氣體分壓、硅晶向、摻雜

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