問答題

【簡(jiǎn)答題】影響熱氧化層電性的電荷來源有哪些類型？降低這些電荷濃度的措施？

答案： （1）可動(dòng)離子電荷（Qm）：加強(qiáng)工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污；也可采用摻氯氧化，固定Na+離子；高純?cè)噭?br />（2...
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答案：

溫度、氣體分壓、硅晶向、摻雜
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答案：

有干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化
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