問答題

【簡答題】金屬布線按照在集成電路中的作用可以分為哪些?

答案:

互連、接觸、栓塞

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答案:

1、底膜處理
2、涂膠
3、前烘
4、曝光
5、顯影
6、堅膜
7、刻蝕去膠

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