問答題

【簡答題】光刻工藝分為哪些步驟？

答案：

1、底膜處理
2、涂膠
3、前烘
4、曝光
5、顯影
6、堅膜
7、刻蝕去膠
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問答題

【簡答題】從刻蝕工藝上可以將刻蝕分為什么種類？
答案：

干法刻蝕和濕法刻蝕
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【簡答題】化學(xué)氣象淀積是什么？
答案：

通過氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)，wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝
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