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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。
答案:
金屬用于硅片制造的七個(gè)要求:
1.導(dǎo)電率:為維持電性能的完整性,必須具有高電導(dǎo)率,能夠傳導(dǎo)高電流密度。
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【簡(jiǎn)答題】解釋下列名詞:互連、接觸、通孔和填充塞。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】采用LPCVD TEOS淀積的是什么膜?這層膜的優(yōu)點(diǎn)是什么?
答案:
多晶硅薄膜
用TEOS(正硅酸乙酯)-臭氧方法淀積SiO
2
Si(C
...
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