問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】采用LPCVD TEOS淀積的是什么膜？這層膜的優(yōu)點(diǎn)是什么？

答案：多晶硅薄膜
用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀積SiO₂ Si（C_...

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【簡(jiǎn)答題】質(zhì)量輸運(yùn)限制CVD和反應(yīng)速度限制CVD工藝的區(qū)別？

答案： 1、質(zhì)量傳輸限制淀積速率
淀積速率受反應(yīng)物傳輸速度限制，即不能提供足夠的反應(yīng)物到襯底表面，速率對(duì)溫度不敏感（如...

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】名詞解釋：CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。（將這些名詞翻譯成中文并做出解釋）。

答案：