A.臺板B.拋光液C.拋光墊D.夾持設備
A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)B.無磨粒CMP技術(shù)C.無應力拋光技術(shù)D.電化學機械平坦化技術(shù)
A.上下偏移B.X或Y方向的平移C.轉(zhuǎn)動D.套準誤差
