單項(xiàng)選擇題
看圖判斷下列描述是否正確？（）
A.是有限源擴(kuò)散，雜質(zhì)濃度分布是高斯函數(shù)B.是有限源擴(kuò)散，雜質(zhì)濃度分布是余誤差函數(shù)C.是恒定源擴(kuò)散，雜質(zhì)濃度分布是余誤差函數(shù)D.是恒定源擴(kuò)散，雜質(zhì)濃度分布是高斯函數(shù)
A.濕氧比干氧慢得多B.氧化反應(yīng)是在Si/SiO2界面發(fā)生的C.水汽氧化層比干氧氧化層致密D.升高氧氣（或水汽）分壓不影響生長(zhǎng)速率
多項(xiàng)選擇題
A.局部場(chǎng)氧化B.淺槽隔離C.pn結(jié)隔離D.混合隔離
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