試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達到終點的終點檢測方法是（）

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

下列哪些是進行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

離子注入機掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

影響顯影工藝的因素有（）。