通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測(cè)方法是（）

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí)，判斷其造成原因有（）

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

一般情況下，刻蝕完成后需要進(jìn)行的操作是（）

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時(shí)，一般使用（）。

回態(tài)源擴(kuò)散的雜質(zhì)源有（）

影響顯影工藝的因素有（）。