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問答題

【簡答題】簡述雙重鑲嵌銅互連技術(shù)的幾個挑戰(zhàn)及雙鑲嵌銅互連工藝流程

答案：挑戰(zhàn)：
①高深寬比的金屬層間接觸孔需要點(diǎn)擊一層銅阻擋層以防止銅擴(kuò)散，這個阻擋層需要良好的側(cè)壁和底層階梯覆蓋、優(yōu)...

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答案：硅可以溶解在鋁中。在源/漏區(qū)，鋁金屬會與硅直接接觸，硅會溶入鋁中，而鋁會擴(kuò)散進(jìn)入硅內(nèi)形成鋁尖凸物。鋁的尖凸物可以穿透摻雜...