問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么叫“結(jié)尖刺效應(yīng)”，集成電路工藝中如何避免鋁的結(jié)尖刺效應(yīng)？

答案： 硅可以溶解在鋁中。在源/漏區(qū)，鋁金屬會(huì)與硅直接接觸，硅會(huì)溶入鋁中，而鋁會(huì)擴(kuò)散進(jìn)入硅內(nèi)形成鋁尖凸物。鋁的尖凸物可以穿透摻雜...
題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】90年代以前，哪些因素影響銅用于IC工藝
答案： 器件尺寸；器件密度；化學(xué)機(jī)械研磨工藝；多重金屬連線(xiàn)；
鋁金屬的電導(dǎo)率在金屬中排第四，僅次于銀、銅、金。鋁是這四...
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】半導(dǎo)體工藝中電介質(zhì)薄膜的應(yīng)用
答案：

（1）作為鈍化保護(hù)層
（2）ILD0的摻雜物阻擋層
（3）紫外線(xiàn)可以穿透的保護(hù)層
（4）作為ILD材料
微信掃碼免費(fèi)搜題