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【簡答題】金屬化的目的是什么?談?wù)凙l-Si金屬化的工藝條件和注意問題。
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PN結(jié)隔離:工序簡單、成本低,但結(jié)電容大,高頻性能差,存在較大的PN結(jié)反向漏電和寄生晶體管效應(yīng) <...
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【簡答題】什么是短溝道效應(yīng)?有哪些設(shè)計(jì)和工藝措施可以降低短溝道效應(yīng)?
答案:
短溝道效應(yīng)主要是指閾值電壓與溝道相關(guān)到非常嚴(yán)重的程度,或者溝道長度減小到一定程度后出現(xiàn)的一系列二級物理效應(yīng)統(tǒng)稱為短溝道效...
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