問答題

【簡答題】什么是短溝道效應(yīng)？有哪些設(shè)計(jì)和工藝措施可以降低短溝道效應(yīng)？

答案： 短溝道效應(yīng)主要是指閾值電壓與溝道相關(guān)到非常嚴(yán)重的程度，或者溝道長度減小到一定程度后出現(xiàn)的一系列二級物理效應(yīng)統(tǒng)稱為短溝道效...
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