集成電路工藝原理章節(jié)練習(xí)(2019.05.06)
來源:考試資料網(wǎng)4.名詞解釋玻璃回流
參考答案:
是升高溫度的情況下給摻雜氧化硅加熱,使它發(fā)生流動。
5.問答題簡述兩步擴散的含義與目的?
參考答案:為了同時滿足對表面濃度、雜質(zhì)總量以及結(jié)深等的要求,實際生產(chǎn)中常采用兩步擴散工藝:第一步稱為預(yù)擴散或預(yù)淀積,在較低的溫度下...
6.名詞解釋間隙式擴散
參考答案:間隙式擴散指間隙式雜質(zhì)從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置。
8.問答題集成電路測試的意義和基本任務(wù)?
9.名詞解釋離子注入的晶格損傷
參考答案:高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞,可能使靶原子發(fā)生位移,被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子,結(jié)果產(chǎn)生一系列的...
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