多項(xiàng)選擇題

影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個方面（）。

A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件

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