多項選擇題

干法蝕刻通常指利用輝光放電方式，產(chǎn)生等離子體來進行圖案轉(zhuǎn)移的蝕刻技術(shù)。其中等離子體含有（）。

A.離子、電子
B.中性原子
C.分子
D.自由基

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