多項選擇題

濕法蝕刻具有以下哪些缺點（）。

A.化學藥品處理時人員會遭遇的安全問題
B.反應溶液及去離子水需花費較高成本
C.光刻膠會產生附著性問題
D.蝕刻不均勻

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