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答案：圖形化工藝中將設(shè)計好的圖形從光刻板或背縮光刻板轉(zhuǎn)印到晶圓表面的的光刻膠上使用的技術(shù)。

答案：駐波效應(yīng)：當(dāng)曝光的光纖從光刻膠與襯底的界面反射時，會與入射的曝光光線產(chǎn)生干涉，會使曝光過度和不足的區(qū)域形成條紋狀結(jié)構(gòu)。<...