目的：降低駐波效應(yīng) 不足：無法消除駐波效應(yīng)，影響分辨率。 過度：造成光刻膠的聚合作用，影響顯影過程，導(dǎo)致圖形轉(zhuǎn)移失敗。
最新試題
化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）
芯片粘接的工藝過程包括（）。
封裝工藝中，銀漿固化的溫度為（）。
光刻工藝的特點包括（）。
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。
厚膜電阻的成分，一是導(dǎo)體顆粒，二是（）。
金屬化中可選用的金屬材料有（）。
多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。
硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）
影響封裝芯片特性的溫度有（）。