多項選擇題IC采用鋁互連系統(tǒng)時，下列哪種方法可以避免Al-Si的尖楔現(xiàn)象（）

A.在淀積的鋁膜中摻入約1%Si
B.在淀積的鋁膜中摻入約1%Cu
C.在鋁膜表面覆蓋Si3N4
D.在淀積鋁之前先淀積一薄層TiN薄膜


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2.多項選擇題關于光學光刻，下列哪種方法可以獲得高分辨率（）

A.光源為紫光
B.使用移相掩膜技術制備的光刻版
C.采取浸入式光刻方法
D.駐波效應對分辨率無影響

3.多項選擇題濺射與蒸鍍比較，下列那種說法正確（）

A.蒸鍍工藝的普適性更好
B.濺射工藝的普適性更好
C.濺射工藝薄膜質量（如粘附性、保形性等）更好
D.蒸鍍工藝薄膜質量（如粘附性、保形性等）更好

4.多項選擇題從兩電極面積判斷射頻濺射時，靶放在那個電極上、襯底放在那個電極上（）

A.襯底放在面積大的電極上
B.靶放在面積大的電極上
C.襯底放在面積小的電極上
D.靶放在面積小的電極上