單項(xiàng)選擇題

（）方法是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中用來(lái)沉積不同金屬的應(yīng)用最為廣泛的技術(shù)。

A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積

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