單項(xiàng)選擇題用高能粒子從某種物質(zhì)的表面撞擊出原子的物理過程叫（）。

A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積


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1.多項(xiàng)選擇題真空鍍膜室是由（）幾部分組成。

A.鐘罩
B.蒸氣源加熱器
C.襯底加熱器
D.活動(dòng)擋板
E.底盤

2.單項(xiàng)選擇題真空鍍膜室內(nèi)，在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動(dòng)擋板，用來（）。

A.隔擋氣體交換
B.控制蒸發(fā)的過程
C.輔助熱量交換
D.溫度調(diào)節(jié)

3.單項(xiàng)選擇題真空鍍膜室中的鐘罩與底盤構(gòu)成（）。

A.襯底加熱器
B.抽氣系統(tǒng)
C.真空室
D.蒸氣源加熱器

4.單項(xiàng)選擇題（）由鐘罩、蒸氣源加熱器、襯底加熱器、活動(dòng)擋板和底盤構(gòu)成。

A.真空鍍膜機(jī)
B.真空鍍膜室
C.真空鍍膜器
D.真空鍍膜儀

5.單項(xiàng)選擇題真空蒸發(fā)又被人們稱為（）。

A.真空沉積
B.真空鍍膜
C.真空外延
D.真空