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激光退火目前有()激光退火兩種。
A.一般和特殊
B.脈沖和連續(xù)
C.高溫和低溫
D.快速和慢速
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單項選擇題
()就是用功率密度很高的激光束照射半導(dǎo)體表面,使其中離子注入層在極短的時間內(nèi)達(dá)到高溫,消除損傷。
A.熱退火
B.激光退火
C.連續(xù)激光退火
D.脈沖激光退火
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單項選擇題
目前,最廣泛使用的退火方式是()。
A.熱退火
B.激光退火
C.電子束退火
D.離子束退火
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